Contrôleur de débit massique (MFC) MKS GM50A à commande numérique, plage de 0,4 à 20 sccm, subminiature D à 15 broches, 4 magnétoscopes mâles.
Numéro de pièce MKS : GM50A013201RMM020. Le contrôleur de débit massique MKS GM50A peut être configuré pour contrôler le N2 ou équivalent, avec une plage de débit à grande échelle de 20 sccm et une plage de contrôle de 0,4 à 20 sccm. Il est doté d'un connecteur analogique sub-D miniature à 15 broches avec masse liée, d'un signal d'entrée/sortie de débit 0-5 V CC et de raccords d'entrée et de sortie mâles Swagelok® 4 VCR®. Les temps de réponse typiques sont de l'ordre de 500 millisecondes. L'étalonnage numérique donne 1 % de précision du point de consigne sur le gaz d'étalonnage.
Les capacités multi-gamme peuvent être configurées via une application basée sur un navigateur Web accessible en branchant le MFC sur un routeur ou un ordinateur via un câble Ethernet. L'application E-diagnostics permet à un utilisateur de surveiller les performances du MFC en temps réel ainsi que de tracer des données et de sélectionner des variables.
Swagelok, VCR-TM Société Swagelok